无尘室工程的监控系统简述

无尘室工程的监控系统简述

随着当今经济的迅速发展以及科学水平的不断提高，我国在科技电子产业取得了很大程度上的进步，为国民经济的发展做出了重要贡献。半导体电子制造类企业作为中国电子科技腾飞的产业支柱，着重根据其产品工艺制程的特殊需求以及制程对无尘室工程的生产环境洁净等级及相关精度、厂务数据监测提出了严格要求，下面我们来看看无尘室工程监控系统的几个要点：

一是无尘室工程监控系统的组成，无尘室监控系统是一个系统性、综合性系统，主要包含有工作站、打印机、工业交换机、PLC硬件与软件、图控软件、控制阀以及相关仪器仪表；

二是无尘室工程监控目的，通过对无尘室进行有效监控，充分掌握厂务相关设备及其具体的运行参数，在此基础上通过自动控制逻辑，实现对设备的预设控制；

三是无尘室工程的监控范围，监控系统的监控范围主要包含超纯水/去离子水系统监控，废水处理系统监控，化学品系统监控，特气系统监控，大宗气体系统监控，电力监控，洁净室系统的环境指标(包括新风机组、工艺排风、干盘管、FFU/CCU、 洁净室温湿度及其精度等)；无尘室工程的一般机械电力系统(包括冷冻水、冷却水、热水系统、工艺冷却水、工艺真空、清扫真空、压缩空气系统等)。